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能量色散型微区X射线荧光光谱仪 μEDX系列

能量色散型微区X射线荧光光谱仪 μEDX系列

  • 产品型号:μEDX系列
  • 更新时间:2017-07-05
  • 产品介绍:采用的X射线集束毛细管透镜,X射线只照射样品的50μmφ微小领域,从而达到高灵敏度、高精度分析!

    μEDX大幅度地提高了传统的X射线荧光光谱仪无法完成的微小领域分析的灵敏度。配备新开发的X射线集束毛细管透镜,实现了Z小分析直径达50μm的微区测定,适合半导体/电子部件/食品领域等高灵敏度、高分辨率分析。
  • 在线留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

产品介绍

  • 采用岛津*的X射线聚光透镜[集束毛细管透镜],X射线只照射样品的50μmφ微小领域,实现高灵敏度、高精度分析。
  • 可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na~U:μEDX-1300;Al~U:μEDX-1200/ 1400)的分析。
  • 配备双CCD(高倍率,低倍率)摄像头,可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置,进行分析。
  • 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数(BG-FP)法。
  • 作为微区X射线荧光光谱分析装置,在世界上率先配备了5种1次X射线滤光片自动交换机构,可消除来自X射线管的特征X射线,提高信噪比。
  • 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图,在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购),也可进行透射X射线的同时测定。
  • 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮,可进行高精度分析。
    (μEDX-1400)
  • 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。

            μEDX 1.gif                 μEDX 2.gif
           印刷电路板焊接部分的分析             手机部件的扫描成图分析

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