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韩国NanoSystem非接触表面轮廓仪

韩国NanoSystem非接触表面轮廓仪

产品介绍

韩国NanoSystem非接触表面轮廓仪

型号:NV-1800/NV-2400/NV-2700

韩国NanoSystem非接触光学表面形貌测量系统



高精度非接触式表面形貌检测

无损3D表面轮廓分析

宜用平台提供快速、高效的工艺流程的监控

全面、直观的软件提供了式样和应用灵活性

主要功能

3D形貌测量

高,深,间隔(从纳米级到5mm

粗糙度(R参数)表面(S参数)

面积信息(体积,面积)

2D测量

NanoView可靠性在许多应用领域发挥性能。

NanoView 提供完整的表面形貌纳米测量和分析技术方案。

韩国NanoSystem非接触表面轮廓仪

NV-Serise技术参数

型号

NV-1800

NV-2400

NV-2700

测量原理

非接触三维 白光扫描干涉法(WSI/移相干涉法(PSI

现场放大镜

1.0×(标配)

1.0×(标配)

1.0×(标配)

物镜

单镜头

可选5个镜头(手动鼻轮)

可选5个镜头(自动鼻轮)

光源

白光LED光源

扫描方式

闭环控制压电促动扫描方式

纵向扫描范围

Max 270um(可拓展到:5mm

纵向扫描速度

12um/sec1X~5X倍率可选)

倾斜

±3°(样品台倾斜)

头部倾斜±5°(手动模式)

头部倾斜±5°(自动模式)

纵向分辨率

WSI:0.5nm / PSI:0.1nm

横向分辨率

0.2~4um(取决于物镜/视场放大镜倍率)

台阶重复性

0.5%1s

XY样品台行程

140×140mm(手动)

230×230mm(自动)

230×230mm(自动)

XY样品台行程

50×50mm(手动)

100×100mm(手动)

100×100mm(自动)

Z轴行程

30mm(手动)

100mm(手动)

100mm(自动)

环境要求

温度:15~30℃,温度变化量:<1/15min

湿度:<60%,无凝结



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