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产品详细页
Auto 色新型相调制椭圆偏振光谱仪

Auto 色新型相调制椭圆偏振光谱仪

产品介绍

 

概要

Auto 色是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具,简单的几个按键操作,即可完成全自动测量和分析。

几秒钟可完成样品分析,并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。

Auto 色 是一种高性能系统,它包括XYZ自动样品台、测量点实时成像和光斑尺寸自动选择功能,其各种各样的附件可满足用户对多种应用的需求。

Auto 色借助完整的操作向导,自动检测并诊断问题、同时提供完整的操作指南,实现对故障进行轻松处理。

便捷的操作性能和大量自动化特性,使得 Auto 色 成为一种可用于常规薄膜测量和质量控制的设备。

特征

  • 薄膜分析变得轻松简单
  • 高性能系统
  • *的光斑可视系统(技术)
  • 多种附件选择
  • 智能诊断

Auto 色的可视化系统

Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可视系统(技术),该系统配备在标准椭圆偏振光谱仪中。

MyAutoView允许操作者全程观测样品光斑,以确保各种类型的样品都能在完全正确的位置,以合适的光斑尺寸进行测量。

Auto 色 所提供的图像有大约1毫米的视场和10微米的分辨率,这对于大多数测量来说是非常必要的。

 

 

样品类型

MyAutoView光斑可视系统的优点

举例

图形化样品

对图形区域上的测量光斑直接观测.

玷污样品

直接观测样品上的测量光斑,以便选择合适测量位置.

透明样品

-只有前反射时,直接选择
-当不能忽略背面反射时,计算背面反射度

粗燥样品或不均匀表面的样品 (有条纹、瑕疵)

直接观测样品的测量光斑,以便选择合适测量点.

微结构样品

直接观测样品上能够表示0.8mm的细线特征的测量光斑.

圆柱状或球形的样品

直接观测在这种区域上用于光斑定位的平面。右图显示,光斑大小没有被优化到适合椭圆偏振的测量.

放在液体池、控温台等附件里的样品

对于放在液体池里的样品,测量定位变得非常容易(图示样品).

技术参数:

光谱范围:440-858nm 

光斑尺寸: 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm 

测试时间:通常为5秒,可小于1秒
 
准确度:NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n(632.8 nm) ± 0.002, Fu色d silica: n ± 0.004 

观测样品: CCD-视场范围1.33*1mm,分辨率1µm 

重复性:± 0.2 Å  (测试条件 NIST 150 Å SiO2 /Si )

样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节;真空检测;Z轴高度50mm 

探测器:CCD-分辨率:2nm

测角仪:固定在70度,可预设为66度或者61.5度

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